佳能推出高性能KrF光刻机 光刻机概念表现活跃

来源:益盟 2026/11/13 10:07:10

11月13日电，佳能宣布，将于2026年12月上旬发售面向存储和逻辑芯片的KrF(氟化氪)扫描式半导体光刻机FPA-6400ES6a。通过新开发的超高加速度载台缩短驱动时间，这款KrF扫描式半导体光刻机新产品具备每小时400片晶圆的高产能。